Gerichtsakten nicht mehr auf Papier

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Wo Europa im High-Tech-Bereich punkten kann
07.05.2024 | Das deutsche Unternehmen Zeiss und das niederländische Unternehmen ASML spielen eine wichtige Rolle in der globalen Chipherstellung. Die Spannungen zwischen der EU und China sind für beide Unternehmen ein zweischneidiges Schwert. In der Zeiss-Zentrale auf der Schwäbischen Alb klaffte ein riesiges Loch. Oben hebt ein Kran Betonteile in die Luft und unten wird ein Fundament gegossen, das dick genug ist, um Vibrationen kleinerer Erdbeben zu neutralisieren. Hier sollen künftig modernste und präziseste optische Komponenten für die Chipfertigung gefertigt werden, bei der Zeiss Weltmarktführer ist. Neben der Baustelle steht ein kubisches Gebäude aus Glas. ist der Hauptsitz von Zeiss SMT. Ein Unternehmen mit Sitz in Oberkochen. Dies trug wesentlich dazu bei, dass der Gesamtumsatz des Konzerns um 15 % stieg und erstmals in seiner Geschichte die 10-Milliarden-Euro-Grenze überschreiten konnte. Mitarbeiterzahl verdreifacht sich in sieben Jahren Peter Kürz, Leiter der Abteilung „High-NA-EUV“, scheint entsprechend gut gelaunt zu sein. Hinter diesem Kürzel verbirgt sich modernste optische Technologie, ohne die kein Unternehmen auf der Welt in der Lage wäre, Mikrochips der neuesten Generation herzustellen. In den letzten sieben Jahren hat sich unsere Belegschaft mehr als verdreifacht. Wir erleben ein starkes Wachstum.  Wie stolz ist er also auf die neueste Errungenschaft von Zeiss, die High NA EUV-Technologie? Es ist das Ergebnis von mehr als 25 Jahren Forschung, Investitionen in Milliardenhöhe und etwa 2.000 Patentanmeldungen. Dahinter verbirgt sich ein hochkomplexes optisches System aus Glas, Metall und Spiegeln, das 18 Tonnen wiegt und aus 65.000 Einzelteilen besteht. Wir machen Hightech und Handwerkskunst“, erklärt Kurz lächelnd. Hochpräzise Fertigung Glaskeramikblöcke rotieren in der Produktionshalle. Diese werden von Robotern in einem sehr langen Prozess auf atomare Präzision poliert. Das Herzstück der Zeiss-Optik ist ein Spiegel, der „50.000-mal präziser als normal gefertigt“ ist. Diese strahlen einen speziellen Laserstrahl sehr präzise auf eine Siliziumscheibe, wo ein winziger Schaltkreis, ein Halbleiter-Mikrochip, entsteht. Das Besondere daran ist, dass ein Hochleistungs-CO2-Laser in einem speziellen Verfahren durch ihn hindurchdringt und so hochpräzises ultraviolettes Licht erzeugt. Es entsteht ein Hochvakuum. Dadurch sind die kritischen Halbleiterstrukturen auf dem fertigen Mikrochip am Ende nur noch wenige Nanometer groß. Zum Vergleich: Ein menschliches Haar ist 50.000 Nanometer dick. Große Nachfrage in der Industrie Die Miniaturisierung der so hergestellten Halbleiter ermöglicht leistungsfähigere Computerchips. Die Chips in der Apollo-11-Kapsel hatten nur etwa 1.000 Transistoren, Smartphone-Chips verfügen mittlerweile über mehr als 57 Milliarden Transistoren. Peter Kurz hält ein Mobiltelefon hoch, in dem sich ein Chip befindet. Unsere Technologie sorgt dafür, dass Chips in der Größe eines Fingernagels künftig noch leistungsfähiger werden. Die Nachfrage nach Chips im „Internet der Dinge“ wird jetzt von der niederländischen Firma ASML , einem strategischen Partner von Zeiss, produziert. Dieses Unternehmen aus Veldhoven stellt EUV-Lithographiegeräte her, die mit Zeiss-Optiken ausgestattet sind. Diese Maschinen haben etwa die Größe eines Doppeldeckerbusses und kosten mehr als 350 Millionen Euro. Es druckt die Mikrochips, die alle großen Chiphersteller der Welt, darunter Intel, Nvidia und TSMC, für die Herstellung benötigen. Exporte nach China ausgesetzt Der erste Chip der neuesten Generation, der mit der High-NA-EUV-Technologie von Zeiss ausgestattet ist, wurde Ende 2023 an Intel in den USA geliefert. Lieferung von Europäern an China ausgesetzt. Auf Druck der US-Regierung und der Europäischen Kommission wurde Anfang 2024 ein Exportverbot verhängt. Beobachter sprechen bereits von einem Chip-Krieg. Aus Sicht der LMU-Innovationsökonomin Monika Schnitzer, Vorsitzende des Ökonomenausschusses, bedeutet das, „die Abhängigkeit Europas von China zu verringern“. Dabei handelt es sich nicht um eine rein wirtschaftliche, sondern vielmehr um eine strategische Entscheidung. Wir wollen nicht von einem Land abhängig sein, das innerhalb weniger Jahre in einen ernsthaften politischen Konflikt verwickelt sein könnte. Roger Dassen, CFO von ASML, steht im 19. Stock des ASML-Hauptquartiers in Veldhoven eines riesigen Fensters, hinter dem neben der Produktionshalle mit mehreren Kränen eine neue Halle entsteht. Er glaubt, dass das Exportverbot nach China wirtschaftlich aufgefangen werden kann. Der Mangel an qualifizierten Arbeitskräften ist die größte Herausforderung. Dassen sieht diese Maßnahme jedoch auch kritisch: „Wenn wir ein Land wirklich in die Enge treiben und es nicht mehr beliefern können, bleibt denen nichts anderes übrig. Um sicherzustellen, dass sie sich selbst erfinden können, auch wenn es mindestens 10 Jahre dauert. ASML und Zeiss sind seit 1997 exklusive strategische Partner, die frühzeitig in neue Technologien investieren und die Forschung vorantreiben. ASML nennt dies eine „Ehe, die nicht geschieden werden kann. Umso wichtiger ist die Zusammenarbeit zwischen Veldhoven und Oberkochen. Die derzeit größten Herausforderungen sind für ASML und Zeiss unterschiedlich. Peter Kürz beklagt, dass beide Unternehmen nicht in der Lage seien, genügend Fachkräfte zu finden, um mit dem Wachstum und der Nachfrage nach ihrer Technologie Schritt zu halten. Wir brauchen auch Arbeitskräfte aus dem Ausland, zum Beispiel Softwareentwickler, Ingenieure, Mechatroniker etc. Allein in Oberkochen hat Zeiss derzeit 400 Stellen zu besetzen....

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